搬運(yùn)流程：
1.半導(dǎo)體是一種精密儀器。搬運(yùn)設(shè)備前，必須做好搬運(yùn)方案和設(shè)備保護(hù)。
2.如果搬運(yùn)入口較小，可以向甲方了解設(shè)備特性是否可以放下或拆卸半導(dǎo)體。進(jìn)入入口后，用龍門(mén)架將設(shè)備糾正。
3.確認(rèn)地面高度。如需提升設(shè)備，盡量使用平臺(tái)提升半導(dǎo)體設(shè)備。
4、搬運(yùn)路線鋪好均壓鋼板，避免讓單點(diǎn)受力將地面壓壞。
5.確認(rèn)設(shè)備定位位置地面是否加固，避免設(shè)備定位后地面被壓碎，導(dǎo)致設(shè)備傾倒或傾斜。
注意事項(xiàng)：
1.搬運(yùn)前，應(yīng)確認(rèn)半導(dǎo)體尺寸和入口尺寸、搬運(yùn)距離。如有臺(tái)階，應(yīng)確認(rèn)臺(tái)階高度等數(shù)據(jù)，并做好危險(xiǎn)源調(diào)查和應(yīng)急預(yù)案。
2.半導(dǎo)體進(jìn)入無(wú)塵室前應(yīng)進(jìn)行無(wú)塵處理。如果在搬運(yùn)過(guò)程中需要上下臺(tái)階，可以用平臺(tái)吊起半導(dǎo)體，盡量不要使用機(jī)動(dòng)叉車(chē)。因?yàn)楸井a(chǎn)品一般需要搬入無(wú)塵車(chē)間，以免機(jī)動(dòng)叉車(chē)排放的廢氣污染車(chē)間或設(shè)備。
3.地面保護(hù)措施:將均壓鋼板鋪在半導(dǎo)體搬運(yùn)路線的地面上，進(jìn)行無(wú)塵處理。便于半導(dǎo)體設(shè)備的移動(dòng)和定位。
4.搬運(yùn)方式:操作人員需要穿無(wú)塵服，操作前做好無(wú)塵處理，用氣墊、液壓叉車(chē)等工具搬運(yùn)。